其實MOS管一個ESD敏感器(qi)件,它本身(shen)的(de)輸(shu)入(ru)電(dian)(dian)(dian)阻很高,而(er)(er)柵(zha)-源(yuan)極(ji)(ji)間(jian)電(dian)(dian)(dian)容又非常(chang)小(xiao),所以(yi)極(ji)(ji)易受外界(jie)電(dian)(dian)(dian)磁場(chang)或靜(jing)電(dian)(dian)(dian)的(de)感應而(er)(er)帶電(dian)(dian)(dian),又因在靜(jing)電(dian)(dian)(dian)較強的(de)場(chang)合難于泄放電(dian)(dian)(dian)荷(he),容易引(yin)起靜(jing)電(dian)(dian)(dian)擊穿。而(er)(er)靜(jing)電(dian)(dian)(dian)擊穿有兩種方式,電(dian)(dian)(dian)壓型及(ji)功率型。飛虹MOS管廠家(jia)今天要分享的(de)電(dian)(dian)(dian)壓型靜(jing)電(dian)(dian)(dian)擊穿的(de)特(te)點。
電壓型擊穿(chuan),即MOS管柵極的(de)薄氧化層發生擊穿(chuan),形(xing)成針孔,使(shi)柵極和(he)源極間(jian)短路(lu),或者使(shi)柵極和(he)漏極間(jian)短路(lu),它的(de)特點(dian)是:
(1)穿通擊穿的(de)擊穿點軟,擊穿過程中(zhong),電(dian)流(liu)有(you)逐步(bu)增大(da)的(de)特征,這是因為耗盡層擴展較(jiao)寬(kuan),產(chan)生電(dian)流(liu)較(jiao)大(da)。另一方面,耗盡層展寬(kuan)大(da)容易(yi)發(fa)生DIBL效(xiao)應(ying),使源襯底(di)結正偏(pian)出(chu)現電(dian)流(liu)逐步(bu)增大(da)的(de)特征。
(2)穿通擊穿的軟擊穿點發生在源漏的耗盡層相接時,此時源端的載流子注入到耗盡層中,被耗盡層中的電場加速達到漏端,因此,穿通擊穿的電流也有急劇增大點,這個電流的急劇增大和雪崩擊穿時電流急劇增大不同,廣州(zhou)MOS管廠家這時的電流相當于源襯底PN結正向導通時的電流,而雪崩擊穿時的電流主要為PN結反向擊穿時的雪崩電流,如不作限流,雪崩擊穿的電流要大。
(3)穿(chuan)通擊(ji)穿(chuan)一般不(bu)會(hui)(hui)出現破(po)壞性(xing)擊(ji)穿(chuan)。因為穿(chuan)通擊(ji)穿(chuan)場(chang)強(qiang)沒(mei)有達(da)到雪崩擊(ji)穿(chuan)的(de)場(chang)強(qiang),不(bu)會(hui)(hui)產生大量電子空穴對(dui)。
(4)穿通(tong)擊穿一般發生在溝(gou)道(dao)(dao)體(ti)內,溝(gou)道(dao)(dao)表面不容易(yi)發生穿通(tong),這主(zhu)要是由于溝(gou)道(dao)(dao)注(zhu)入使表面濃度(du)比濃度(du)大造成,所以,對NMOS管一般都有防(fang)穿通(tong)注(zhu)入。
(5)一(yi)(yi)般的(de),鳥嘴邊緣的(de)濃度(du)比溝(gou)道中間濃度(du)大,所以穿通擊穿一(yi)(yi)般發生在溝(gou)道中間。
(6)多晶柵長度對穿通擊穿是有影響的,廣(guang)州MOS管(guan)廠家(jia)隨著柵長度增加,擊穿增大。而對雪崩擊穿,嚴格來說也有影響,但是沒有那么顯著。
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